Системы нанопозиционирования

Повторяемость: 50 nm
Ход: 6, 11 mm

... Малогабаритный SMARPOD 70.42 - это самая компактная система с диаметром основания всего 70 мм и весом всего 200 г. SMARPOD 70.42 - самая маленькая система перемещения в виде гексапода с диаметром опорной плиты всего 70 мм. Несмотря на свою компактность, ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 11, 20 mm

... Средний размер SMARPOD 110.45 имеет диаметр опорной плиты 110 мм и обеспечивает перемещение на 20 мм в направлениях X и Y. SMARPOD 110.45 может позиционировать полезную нагрузку до 5 Н и обеспечивает перемещение на 20 мм в направлениях X и Y. На опорную ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 42, 24 mm

... SMARPOD 225.75 имеет диаметр основания 225 мм и обеспечивает перемещение на 42 мм в направлениях X и Y. SMARPOD 225.75 способен выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Это один из самых больших SmarAct SMARPOD, предлагающий диапазон перемещения 42 мм в ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 30, 50, 10 mm

... Этот среднеразмерный SMARPOD основан на параллельно расположенных каскадах SLC-17, обеспечивающих перемещение на 50 мм в направлении X. SMARPOD P-SLC-17 может выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Он основан на другом механизме, чем круговые SMARPODS. ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 62, 102, 17 mm

... Крупногабаритный SMARPOD основан на параллельно расположенных каскадах SLC-24, обеспечивающих большой ход в 102 мм в направлении X. SMARPOD P-SLC-24 может выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Он основан на другом механизме, чем круглые SMARPODS. При ...

Повторяемость: 100 nm
Ход: 17, 62, 330 mm

... В крупногабаритном SMARPOD используются три каретки серии CLL, обеспечивающие чрезвычайно большой диапазон перемещения 330 мм в направлении X. В SMARPOD P-CLL-CLS используются позиционеры CLS для перемещения в направлении Y и ступень CLL в направлении ...

... Исключительная производительность Полное кодирование с разрешением 1 нм Активная фиксация положения Большой диапазон сканирования и низкий тепловой дрейф Большие площади зондирования на всей площади 30 x 30 мм Высокоскоростная визуализация EBAC/EBIC ...

... Позиционирование, манипулирование, обработка и измерение объектов и структур с нанометровой точностью - самая точная в мире машина для нанопозиционирования и нанометрологии - диапазон измерения и позиционирования 25 x 25 x 5 мм - разрешение 0,1 нм - самая ...

... Планарная лазерная интерферометрическая система измерения и позиционирования для АСМ - 2,5 D система позиционирования и измерения высочайшей точности - диапазон измерения и позиционирования: поверхность Ø 100 мм - разрешение поперечных измерений ≤ 0,02 ...