Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD P-CLL-CLS

шестиногаялинейнаяротационная

В крупногабаритном SMARPOD используются три каретки серии CLL, обеспечивающие чрезвычайно большой диапазон перемещения 330 мм в направлении X. В SMARPOD P-CLL-CLS используются позиционеры CLS для перемещения в направлении Y и ступень CLL в направлении X. Благодаря такому специфическому сочетанию различных линейных каскадов, P-CLL-CLS обеспечивает чрезвычайно большой диапазон перемещения в направлении X до 1200 мм по запросу, сохраняя при этом небольшую площадь в направлении Y. SMARPOD P-CLL-CLS полностью оснащен сменными блоками приводов (EDU), гарантирующими легкую и быструю замену пьезопривода без необходимости полной разборки системы позиционирования. Значения вращательного движения указаны для точки поворота на поверхности верхней пластины. Габаритные размеры всей системы могут быть больше для разных поз. Для получения дополнительной информации см. модель CAD в зоне загрузки. Повторяемость измеряется на высоте около 20 мм над верхней пластиной каждой системы, во всем диапазоне перемещений и для одной степени свободы за один раз. Значения могут быть лучше для более коротких диапазонов перемещения. Технические характеристики Перемещение [ - 32 (Θx); 34 (Θy); 30 (Θz) Макс. Нормальное усилие [Н] - 4 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2 Размеры базовой плиты [мм] - 554 x 45 Высота платформы над землей [мм] - 72 Вес [г] - 2950 Замкнутый контур Типы датчиков - SC Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьшее приращение [мк - 3 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар)