Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD 110.45

шестиногаяс параллельной кинематической схемойпод высоким вакуумом

SMARPOD 110.45 среднего размера способен позиционировать полезную нагрузку весом до 5 Н с 6 DoF. SMARPOD 110.45 - это гексаподоподобная система позиционирования среднего размера. Благодаря большим диапазонам перемещения она чрезвычайно универсальна. По желанию базовая плита может быть оснащена монтажными стойками для инструментов, компонентов или датчиков, превращая систему позиционирования в основное устройство для микросборки и любого другого применения, требующего точного выравнивания. Как и другие системы SmarAct SMARPOD, модель 110.45 также доступна в версиях для высокого и сверхвысокого вакуума или из полностью немагнитных материалов. Механический Перемещение [мм] - 20 (X); 20 (Y); 10 (Z) Ход [ - 21 (Θx); 24 (Θy); 38 (Θz) Макс. Нормальное усилие [Н] - 5 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5 Размеры [мм] - Ø 110 Высота платформы над землей [мм] - 45 Вес [г] - 400 Замкнутый контур Типы датчиков - S; SC Наименьшее приращение [нм] - 1 Наименьший инкремент [мкрад] - 1 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200 Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)