Среднеразмерный SMARPOD на базе ступеней SLC-17 в параллельной ориентации, способный позиционировать полезную нагрузку весом до 5 Н.
SMARPOD P-SLC-17 основан на другой механической конструкции в отношении ориентации горизонтально установленных ступеней. По сравнению с круговым SMARPOD почти такого же размера, P-SLC-17 предлагает гораздо больший диапазон перемещения без диафрагмы, которая имеется в круговых конструкциях.
Основанный на ступенях серии SLC-17, SMARPOD P-SLC-17 также доступен в версиях для высокого и сверхвысокого вакуума, а также в версии, изготовленной из полностью немагнитных материалов.
Механический
Ход [мм] - 48 (X); 28 ... 48 (Y); ≤ 9 (Z)
Ход [ - ≤ 28 (Θx); ≤ 26 (Θy); ≤ 20 (Θz)
Макс. Нормальная сила [Н] - 5
Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5
Размеры [мм] - 110 x 80
Высота платформы над землей [мм] - 67,5
Вес [г] - 300 ... 2000
Замкнутый контур
Типы датчиков - S; SC
Наименьший инкремент [нм] - 1
Наименьшее приращение [мкрад] - 1
Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200
Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10
Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15
Опции
Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар)
Немагнитная опция - Да (-NM)
---