Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD P-SLC-17

шестиногаялинейнаяротационная

Этот среднеразмерный SMARPOD основан на параллельно расположенных каскадах SLC-17, обеспечивающих перемещение на 50 мм в направлении X. SMARPOD P-SLC-17 может выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Он основан на другом механизме, чем круговые SMARPODS. При почти тех же размерах P-SLC-17 обеспечивает гораздо больший ход на 50 мм в направлении X. Значения вращательного движения указаны для точки поворота на поверхности верхней пластины. Габаритные размеры всей системы могут быть больше для разных поз. Для получения дополнительной информации см. модель CAD в зоне загрузки. Повторяемость измеряется на высоте около 20 мм над верхней пластиной каждой системы, во всем диапазоне перемещений и для одной степени свободы за один раз. Значения могут быть лучше для более коротких диапазонов перемещения. Для получения информации о других размерах и перемещениях, пожалуйста, обращайтесь к нам в любое время. Технические характеристики Ход [ - 25 (Θx); 22 (Θy); 16 (Θz) Макс. Нормальное усилие [N] - 5 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5 Размеры [мм] - 110 x 70 Размеры базовой плиты [мм] - 110 x 70 Высота платформы над землей [мм] - 67,4 Вес [г] - 680 Замкнутый контур Типы датчиков - SC Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьший инкремент [мк - 3 Однонаправленная повторяемость MCS2 [нм] - ± 50 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)