Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD P-SLC-24

шестиногаякомпактная

Среднеразмерный SMARPOD P-SLC-24 основан на сложной параллельной кинематической конструкции и способен выдерживать полезную нагрузку до 10 Н. В SMARPOD P-SLC-24 компании SmarAct используются линейные каскады SLC-24 в ортогональной ориентации, что обеспечивает большой диапазон перемещений при сравнительно небольшой занимаемой площади. Благодаря способности выдерживать большую полезную нагрузку и большому диапазону перемещения, P-SLC-24 является одной из самых универсальных многоосевых систем позиционирования. Поскольку она основана на каскадах серии SLC-24, она также доступна в версиях, совместимых с высоким и сверхвысоким вакуумом совместимой с высоким и сверхвысоким вакуумом. Если требуется по условиям применения, она может быть изготовлена из полностью немагнитных материалов. Механический Ход [мм] - 79 ... 119 (X); 45 ... 119 (Y); ≤ 12 (Z) Ход [ - ≤ 31 (Θx); ≤ 27 (Θy); ≤ 42 (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] - 10 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 5 Размеры [мм] - 150 x 100 Высота платформы над землей [мм] - 87 Вес [г] - 300 ... 2000 Замкнутый контур Типы датчиков - S; SC Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьшее приращение [мкрад] - 1 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200 Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM) Аксессуары