Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD P-SLC-24

шестиногаялинейнаягоризонтальная

Крупногабаритный SMARPOD основан на параллельно расположенных каскадах SLC-24, обеспечивающих большой ход в 102 мм в направлении X. SMARPOD P-SLC-24 может выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Он основан на другом механизме, чем круглые SMARPODS. При почти тех же размерах P-SLC-24 обеспечивает гораздо больший ход 102 мм в направлении X. Значения вращательного движения указаны для точки поворота на поверхности верхней пластины. Габаритные размеры всей системы могут быть больше для разных поз. Для получения дополнительной информации см. модель CAD в зоне загрузки. Повторяемость измеряется на высоте около 20 мм над верхней пластиной каждой системы, во всем диапазоне перемещений и для одной степени свободы за один раз. Значения могут быть лучше для более коротких диапазонов перемещения. Для получения информации о других размерах и перемещениях, пожалуйста, обращайтесь к нам в любое время. Технические характеристики Ход [ - 33 (Θx); 33 (Θy); 36 (Θz) Макс. Нормальное усилие [N] - 5 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5 Размеры базовой плиты [мм] - 195 x 91 Высота платформы над землей [мм] - 81 Вес [г] - 1890 Замкнутый контур Типы датчиков - SC Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьшее приращение [мк - 3 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)