Прецизионный оптическая прорезь SMS-20-20

SMS-20-20 состоит из двух перпендикулярно ориентированных одиночных щелей. Полностью моторизованные для точного определения размера и положения прямоугольной апертуры. Четыре независимо подвижных лезвия выровнены в две параллельные пары, ориентированные прямоугольно друг к другу. Установка позволяет независимо определять размер отверстия диафрагмы по ширине и высоте с длиной стороны от 0 до 20 мм. Датчики положения позволяют позиционировать каждую лопасть по замкнутому контуру для точного определения размера и положения проема в пределах окна шкафа размером 20 на 20 мм. Имеются специализированные версии для использования в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. Также доступны версии, выполненные по индивидуальному заказу. Пожалуйста, свяжитесь с нами, чтобы обсудить ваши конкретные требования. Механический Размеры [мм] - 75 x 75 x 20 Открытый контур Скорость [мм/с] - > 20 Разрешение [нм] - < 1 Замкнутый контур Разрешение замкнутого контура MCS2 [нм] - 1 (S) 4 (L) Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - ±30 (S) ,±60 (L) Разрешение замкнутого контура (H)CU [нм] - 50 (L) Повторяемость замкнутого контура, полный ход (H)CU [нм] - ±1000 (L) Опции Варианты материала - стальное основание (-ST); титановое основание (-TI); черное анодированное покрытие (-BK) Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)