Система нанопозиционирования 3 оси NMM-1

лазероптическаядля промышленности

Позиционирование, манипулирование, обработка и измерение объектов и структур с нанометровой точностью - самая точная в мире машина для нанопозиционирования и нанометрологии - диапазон измерения и позиционирования 25 x 25 x 5 мм - разрешение 0,1 нм - самая высокоточная система 3D-позиционирования и измерения - измерительные системы, например, датчики лазерной фокусировки, атомно-силовые микроскопы, датчики белого света, 3D микросканеры - открытая архитектура устройства позволяет применять специализированные датчики - управление NMM-1 осуществляется с помощью программного обеспечения для ПК. Доступен пользовательский API. Нанопозиционирующая и наноизмерительная машина для трехмерных координатных измерений работает в диапазоне измерений 25 мм x 25 мм x 5 мм с разрешением 0,1 нм. Специальное расположение датчиков обеспечивает отсутствие аберраций по всем трем координатным осям. Измерительные оси трех миниатюрных интерферометров пересекаются практически в точке контакта измерительного датчика с измеряемым объектом. Измеряемый объект лежит непосредственно на подвижном зеркальном углу. Положение зеркального угла определяется тремя неподвижными миниатюрными интерферометрами. Зеркальный угол позиционируется с помощью трехосевого привода. Два датчика угла используются для измерения и компенсации угловых отклонений во время позиционирования. Свет от одного стабилизированного лазера передается от электронного блока к интерферометрическим головкам по оптическим волокнам. Это позволяет создать компактную и термостабильную конструкцию машины для нанопозиционирования и наноизмерений.