Система нанопозиционирования 3 оси NPP-1

лазероптическаядля промышленности

Планарная лазерная интерферометрическая система измерения и позиционирования для АСМ - 2,5 D система позиционирования и измерения высочайшей точности - диапазон измерения и позиционирования: поверхность Ø 100 мм - разрешение поперечных измерений ≤ 0,02 нм - контроль: 3 дифференциальных интерферометра с волоконной связью - Метрологическая повторяемость благодаря использованию гелий-неоновых лазеров с длиной волны 633 нм в качестве источника света для интерферометров. - Атомно-силовые микроскопы в качестве измерительной системы, другие по запросу - открытая архитектура прибора позволяет применять датчики по индивидуальному заказу - Управление NPP-1 осуществляется с помощью программного обеспечения ПК. Имеется пользовательский API. Платформа для наноизмерений и позиционирования NPP-1 позволяет осуществлять позиционирование в диапазоне около 100 мм. Высокое разрешение лазерных интерферометров, используемых для контроля, жесткая архитектура анодрнунга позиционирования, воздухоопорные оси системы позиционирования и оптимизированная система управления позволяют получить отклонения положения и точность траектории перемещений < 2 нм RMS. Объект измерения помещается непосредственно на движущееся зеркало. Положение и поворот зеркала определяются интерферометрически. В этой системе используются сверхстабильные интерферометры серии SP-DI/F. Свет от стабилизированного лазера передается по оптическим волокнам от электронного блока к головкам интерферометра. Это обеспечивает компактность и термостабильность конструкции АЭС-1. Платформа выдерживает полезную нагрузку до 5 кг, поэтому с ее помощью можно с высокой точностью позиционировать даже крупные и тяжелые объекты. Принцип работы системы нанопозиционирования NPP-1 рассчитан на масштабирование, поэтому система может быть адаптирована к требованиям заказчика.