Система позиционирования XY 782344:025.26

линейнаяс двойной цапфойдля чистого помещения

Двойная линейная ось XY для высокоточной настройки линз для вафельных степперов | ультратонкого ультрафиолетового облучения в чистой комнате - Прецизионные узлы Высокоточная регулировка двух оптических элементов Эта высокоточная двойная линейная ось была разработана специально для вафельных степперов. Две линзы должны быть расположены относительно друг друга, а также вместе друг с другом для реализации еще более тонких структур во время УФ-облучения. Это решение состоит из двух осей скольжения на общей направляющей системе. Две подвижные каретки скольжения имеют по три каретки, что позволяет им частично перемещаться внутри друг друга, чтобы максимально сблизить линзы. Сверхтонкая визуализация в чрезвычайно сухой среде - Специально разработано для максимизации производительности и разрешения шаговых систем для вафель - Одновременное позиционирование линз друг к другу, а также друг с другом на расстоянии перемещения 350 мм - Повторяемость 1,5 мкм в условиях исключительно сухой чистой комнаты - Простота технического обслуживания благодаря сменному блоку энкодера двигателя Специальные характеристики: - Совместимость с ультрафиолетовым излучением - Полированные поверхности - Версии для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Немедленное использование с предварительно настроенным контроллером и образцовым программным обеспечением