Система позиционирования XYZ 782498:001.26

линейнаяавтоматическаядля полупроводниковой промышленности

Инспекционный портал XYZ для полупроводников | Линейный двигатель XY, профильная шина | Шариковый винт Z, сервопривод переменного тока - Инспекция и микроскопия Высокоточная автоматическая 3D инспекция полупроводников Эта 3-осевая система позиционирования перемещает камеру или датчик высокого разрешения по оси Z над объектом. Основанная на линейной оси LA250 с линейным прямым приводом, эта система достигает высоких скоростей и ускорений с высокой точностью и очень хорошей воспроизводимостью. Для вертикального позиционирования используется высокоточная линейная ступень PLT165-AC с мощным серводвигателем переменного тока для привода прецизионной шарико-винтовой пары. Он обладает высокой грузоподъемностью даже для тяжелых датчиков. Высокая производительность при круглосуточной работе без технического обслуживания - Идеально подходит для автоматизированного контроля больших плоских образцов, например, пластин, зондовых карт с помощью моста перемещения - Очень длинный ход 700 x 700 x 200 мм для грузов до 15 кг - Высокая точность измерений с повторяемостью до 0,3 мкм - Высочайшая стабильность при измерениях с большим увеличением Возможность расширения: - Различные перемещения до 2000 мм - Управление по Z ручное или моторизованное - С/без рамы и опорной плиты из гранита или алюминия - Исполнение по ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с предварительно настроенным контроллером и образцовым программным обеспечением для немедленного использования