Система позиционирования XYZ 782300:222.26

линейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля полупроводниковой промышленности

Автоматизированная поточная XYZ-инспекция вафель с большим объемом образцов Эта инспекционная система специально разработана для автоматизированного контроля качества больших и плоских носителей весом до 50 кг. Система позиционирования позволяет одновременно позиционировать датчик по оси Z и образец по оси XY на очень компактной площади. Надежная система также позволяет использовать тяжелые датчики или системы камер до 20 кг по Z. Привод шпинделя в сочетании с тормозом шпинделя гарантирует оптимальное самоторможение, что позволяет сохранять вертикальное положение в обесточенном состоянии. Закрытая система с низким уровнем выбросов подходит также для работы в тяжелых промышленных условиях в условиях пыли и дыма. К граниту прикреплена подвесная система для прокладки кабеля. Компактная конструкция с оптимизированным соотношением цена/производительность - Идеально подходит для поверхностного контроля больших носителей размером до 650 x 650 мм - Точное измерение с повторяемостью до 2 мкм - Хорошее соотношение цены и качества благодаря приводу с шаговым двигателем - Прочная и надежная ось Z для датчиков, микроскопов и камер весом до 20 кг - Подходит для промышленных сред, например, пыли, дыма Возможность расширения: - Различные ходы до 1000 мм - С/без рамы и опорной плиты из гранита или алюминия - Исполнение ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу), например, с корпусом и с вытяжной системой - Индивидуальные решения для прокладки кабелей - Адаптированное гашение вибрации с помощью демпфирующего резинового слоя или пневматических демпферов - Немедленное использование с предварительно настроенным контроллером и образцовым программным обеспечением