XY-вращающиеся ступени с линейными двигателями и двигателями с прямым крутящим моментом, разработанные с низким профилем для манипулирования пластинами и многими другими приложениями для автоматизированного точного позиционирования в полупроводниковой промышленности. Привод XY с линейными двигателями обеспечивает субмикронное позиционирование по XY, а вращающийся столик с прямым приводом - субаркес
---