Система для склеивания FIREBIRD

Обзор
Автоматическая система термокомпрессионного соединения, разработанная для гетерогенной интеграции в форматах 2D, 2.5D и 3D.

Особенности

• Гибкая обработка материалов для гетерогенной интеграции в форматах 2D, 2.5D и 3D
  • Подача кристаллов (die) как с вафера, так и с tape & reel
  • Полевое конфигурирование для strip / singulated / wafer субстратов
  • Управление ультра-широкими носителями для singulated субстратов
  • Прямая обработка ваферов и стеклянных субстратов с помощью SlimFEM
• Надежность с проверенной базой установок
  • >500 установок в серийном производстве
• Инновационный процесс
  • Инертная атмосфера позволяет использовать процесс Liquid Phase Contact (LPC) для высокой производительности
  • Активное управление наклоном сопла в реальном времени (real-time active tip tilt)

Характеристики / технические спецификации

• Семейство продуктов: FIREBIRD Series
• Технология: Автоматическое термокомпрессионное соединение (thermo-compression bonding)
• Целевые применения: Гетерогенная интеграция в форматах 2D, 2.5D и 3D
• Обработка материалов: Поддержка die с вафера и tape & reel; конфигурируется для strip, singulated, wafer субстратов
• Обработка носителей: Ультра-широкая обработка носителей для singulated субстратов
• Обработка вафер/стекло: Прямая обработка с помощью SlimFEM
• Процессная среда: Инертная атмосфера, обеспечивающая LPC для высокой производительности
• Управление процессом: Активное управление наклоном сопла в реальном времени
• Готовность к производству: Более 500 установок в серийном производстве