Усовершенствованная система лазерной нарезки и прорезания каналов
ALSI LASER1205 — это высокоточная лазерная система, предназначенная для полной нарезки и прорезания каналов в полупроводниковых пластинках. Разработанная компанией ASMPT ALSI, эта система сочетает в себе передовые лазерные технологии с высокой пропускной способностью, предлагая надежное решение для сложных производственных условий.
Основные преимущества LASER1205
Сверхточная резка: точность позиционирования и воспроизводимость <1,5 мкм
Минимальное тепловое воздействие: зона термического влияния (HAZ) <2 мкм
Узкая ширина пропила: <12 мкм при многолучевой обработке кремния толщиной 100 мкм
Высокая производительность: до 50 % быстрее, чем у систем конкурентов
Гибкая обработка материалов: поддержка Si, SiC, GaAs, Ge, DAF, Mold и других
Встроенная система визуального контроля и проверки пропила: мониторинг в режиме реального времени «на ходу»
Двойные кассетные и очистные станции: непрерывная работа с минимальными простоями
Области применения
LASER1205 предназначен для широкого спектра процессов в полупроводниковой промышленности:
Резка пластин: толщина от 10 мкм до 300 мкм
Прорезание канавок и траншей: для материалов Low-K, PI, TEG и других передовых материалов
Многолучевая лазерная обработка: УФ- и ИК-конфигурации
Встроенная система визуального контроля и мониторинга: обеспечивает стабильное качество и точность
Конфигурации оборудования
Наши лазерные системы LASER1205 являются лидерами по качеству и снижают совокупную стоимость владения. Наш ассортимент ориентирован на решение конкретных задач рынков, как для компаний OSAT, так и для ведущих производителей IDM.
---