Электронный микроскоп NP6800

для анализовдля измеренийвысокое разрешение

Hitachi NP6800 - это специализированная измерительная система на базе РЭМ, разработанная для удовлетворения аналитических потребностей полупроводниковых устройств с 10-нм технологическим узлом и выше. Прецизионный привод с пьезоэлектрическим приводом оснащен осями X, Y и Z, что позволяет очень точно управлять датчиками для измерения электрических характеристик одного МОП-транзистора. Концепция дизайна заключалась в создании простой в использовании измерительной системы (подобно оптической измерительной системе), сохраняя при этом простоту эксплуатации даже в условиях вакуума благодаря интуитивно понятной конструкции управления датчиком. - Эта система зондирования на основе РЭМ используется для анализа дефектов и отказов, которые могут возникнуть в процессе производства любых наноразмерных полупроводниковых устройств. - В NP6800 Nano-Prober используется оптимизированный источник электронов с холодной полевой эмиссией, система из восьми зондов, термостатируемая ступень от -40 до 302 F (от -40 до 150 град.), система измерения переменного тока (опция) для определения сопротивления затвора, система EBAC для локализации коротких и открытых сбоев, а также блоки замены зондов и образцов для обеспечения максимальной пропускной способности. - Нанопробник NP6800 был разработан как специализированная система для нанопробников, обеспечивающая не только высокую производительность, но и высокую стабильность измерений наноразмерных полупроводниковых приборов. Система способна оценивать электрические характеристики, EBAC, EBIC, импульс IV и температурные требования наноразмерных устройств.