Семейство SU3800/3900 VP-SEM ориентировано на производительность. Эти инструменты автоматизируют повторяющиеся задачи, что позволяет получить воспроизводимые результаты за короткое время при минимальных затратах ручного труда.
Предлагаются две различные камеры для образцов с вольфрамовой или полевой эмиссионной оптикой Шоттки. Оба прибора SU3800 и SU3900 имеют общее программное обеспечение, электронику и детекторную платформу.
Особенности продукта:
- Высокоэффективные детекторы Hitachi:
-- Детектор вторичных электронов для высокого вакуума
-- 5-сегментный полупроводниковый детектор обратнорассеянных электронов для высокого и низкого вакуума,
выбор различных режимов сигнала, таких как контраст материала, топография поверхности, 3D
-- Дополнительный многофункциональный детектор "UVD": Вторичные электроны в низком вакууме, катод
сигнал люминесценции, трансмиссия (STEM, в сочетании со специальным держателем образца)
- Современная электронная оптика без полей, опционально с полевым эмиттером Шоттки или с надежными, недорогими и, благодаря интеллектуальному управлению, долговечными вольфрамовыми катодами со шпильками
- Удобство работы даже с неэлектропроводящими образцами благодаря встроенному эффективному режиму работы в низком вакууме, который при необходимости можно переключить одним щелчком мыши
- Для идеального обзора: Цветные навигационные изображения пластин с образцами охватывают всю область образца, наблюдаемую с помощью SEM
- Беззаботная работа - столкновения между столиком и компонентами РЭМ практически исключены благодаря автоматически применяемому ограничению перемещения в динамическом диапазоне
---