Многоосевая система нанопозиционирования SMARPOD 225.75

шестиногаяс параллельной кинематической схемойпод высоким вакуумом

SMARPOD 225.75 основан на сложной параллельной кинематической конструкции и способен выдерживать полезную нагрузку до 10 Н. SMARPOD 225.75 - один из самых больших SMARPOD от SmarAct, предлагающий большой диапазон перемещения более 40 мм по X и Y. В качестве опции опорная плита может быть оснащена монтажными стойками для размещения инструментов, датчиков или других компонентов рядом с подвижной платформой SMARPOD. Как и другие модели SMARPOD от SmarAct, модель 225.75 также доступна в версиях для высокого и сверхвысокого вакуума или изготовлена из полностью немагнитных материалов. Механический Ход [мм] - 41 (X); 41 (Y); 21 (Z) Ход [ - 20 (Θx); 23 (Θy); 41 (Θz) Макс. Нормальное усилие [Н] - 10 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 5 Размеры [мм] - Ø 225 Высота платформы над землей [мм] - 75 Вес [г] - 1000 Замкнутый контур Типы датчиков - S; SC Наименьшее увеличение [нм] - 1 Наименьший инкремент [мкрад] - 1 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200 Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)