Система позиционирования 6 осей TRIPOD 52-6DoF

треногавакуумная

TRIPOD 52-6DoF совместим с модульной системой CLS-52 и состоит из наклонной ступени, как и его более крупный аналог TRIPOD 92-6DoF Расположение трех турелей обеспечивает движение верхней пластины по крену и тангажу в диапазоне ±8,5° для Θx, ±9,5° для Θy и линейное перемещение в направлении Z на 5 мм. Верхняя пластина включает в себя монтажный слот для вращающегося столика SR-3211, чтобы добавить четвертую степень свободы к установке. Нижняя пластина, напротив, позволяет прямое крепление к макетной плате или XY-платформе, состоящей из двух линейных трансляторов CLS-52 DeepL. Последняя возможность позволяет создать 5D или вместе с SR-3211 6D систему позиционирования. Механический Ход [мм] - 31 (X); 31 (Y); 5 (Z) Перемещение [ - 17 (Θx); 19 (Θy); неограниченное (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] - 5 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5 Размеры [мм] - 90 x 90 x 80 Высота платформы над землей [мм] - 80 Вес [г] - ~ 550 Замкнутый контур Типы датчиков - S Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьший инкремент [мкрад] - 1 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200 Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15 Опции Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV / UHVT (1E-11 мбар) Немагнитная опция - Да (-NM)