Система позиционирования тренога TRIPOD 92-6DoF

6 осейXYZлинейная

Большая из двух систем перемещения TRIPOD 92-6DoF имеет шесть степеней свободы и использует высокоточные пьезоэлементы SMARSLIDE, а также полностью совместима с модульной системой CLS-92. Центральным компонентом TRIPOD 92-6DoF является параллельная кинематическая стойка TRIPOD 92-Core. Его конструкция с тремя радиально расположенными башнями обеспечивает движение верхней пластины по крену и тангажу с общим ходом 31° для Rx, 27° для Ry и линейным перемещением в направлении Z на 11 мм. На верхней части TRIPOD 92-Core установлен вращающийся каскад SR-5714C, обеспечивающий неограниченное вращение вокруг оси Z. TRIPOD 92-Core полностью совместим с модульной системой CLS-92 и размещается на XY-платформе, состоящей из двух каскадов линейного перемещения CLS-92. Нижняя пластина позволяет напрямую устанавливать прибор на стандартную оптическую макетную плату с 25-миллиметровой сеткой. Значения вращательного движения приведены для точки поворота на поверхности верхней пластины. Габаритные размеры всей системы могут быть больше для разных поз. Для получения дополнительной информации см. модель CAD в области загрузки. Повторяемость измеряется примерно в 20 мм над верхней пластиной каждой системы, во всем диапазоне перемещений и для одной степени свободы за один раз. Значения могут быть лучше для более коротких диапазонов перемещения.