Система позиционирования тренога TRIPOD 92-6DoF

XYвакуумная

Больший из двух TRIPOD совместим с модульной системой CLS-92. Наклонная стойка является основным компонентом этой системы позиционирования. Расположение трех турелей обеспечивает движение верхней пластины по крену и тангажу в диапазоне ±13° для Θx, ±15° для Θy и линейное перемещение в направлении Z на 10 мм. Верхняя пластина также включает паз для установки вращающегося столика SR-4011, чтобы добавить четвертую степень свободы к установке. Нижняя пластина, напротив, позволяет установить ее непосредственно на макетную плату или XY-платформу, состоящую из двух линейных трансляторов CLS-92 DeepL. Последняя возможность позволяет создать 5D или вместе с SR-4011 6D систему позиционирования. Механический Ход [мм] - 63 (X); 63 (Y); 10 (Z) Перемещение [ - 26 (Θx); 28 (Θy); неограниченное (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] - 5 Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5 Размеры [мм] - 142 x 142 x 94 Высота платформы над землей [мм] - 94 Вес [г] - ~ 1850 Замкнутый контур Типы датчиков - S Наименьший инкремент [нм] - 1 Наименьший инкремент [мкрад] - 1 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200 Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10 Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15 Опции Опции вакуума - HV (1E-6 мбар)