Атомно-силовая микроскоп

для исследованийдля испытания материаловдля электронной промышленности

Обзор продукта
Атомно-силовой микроскоп (wafer-level AFM) — это высокоразрешающий зондовый сканирующий прибор, предназначенный для характеристики трехмерной морфологии поверхности и многофункциональных свойств проводников, полупроводников и диэлектриков на уровне пластин (wafer) с автоматическим выходом зонда и высокой точностью позиционирования.

Особенности

• Продвинутые многофункциональные испытания: измерения включают модуль Юнга, адгезию, визуализацию магнитных доменов, поверхностный потенциал, работу выхода и другие физические величины.
• Адаптируемая среда: совместим с аксессуарами, такими как чашки для культивирования и нагревательные столы; поддерживает измерения в воздухе и жидкостях, возможна работа под водой и при высоких температурах.
• Интеллектуальное выведение зонда: автоматическая вставка иглы/зонда одним нажатием с использованием пьезоэлектрической сканирующей трубки.
• Адаптация к размерам образца: предназначен для обработки 12-дюймовых пластин, обратно совместим с 8-, 6-, 4-дюймовыми пластинами и фрагментами.

Технические показатели

• Уровень шума (XY): 0,2 нм (замкнутая система), 0,02 нм (разомкнутая система).
• Уровень шума (Z): 0,06 нм (замкнутая система), 0,03 нм (разомкнутая система).
• Нелинейность: 0,15% (XY), 1% (Z).
• Режим сканирования: полносканирующий режим зонда XYZ (образец остается неподвижным во время сканирования).
• Диапазон сканирования: 90 μm × 90 μm × 9 μm.
• Скорость сканирования: 0,1 Гц — 30 Гц.
• Точки выборки изображения: от 32 × 32 до 4000 × 4000.
• Совместимость размеров образца: 12-дюймовая пластина; обратно совместим с 8-, 6-, 4-дюймовыми пластинами и фрагментами.
• Режимы работы: контактный, tapping, бесконтактный.
• Адаптивные среды: воздушная и жидкостная фазы.
• Многофункциональные режимы измерения: EFM, KPFM, PFM, C-AFM, SCFM, MFM, LFM, нано-лечение/обработка, спектроскопия силы в одной точке, режим модуляции силы.
• Опция: полностью автоматическая загрузка/разгрузка.
• Система полностью автоматического выведения зонда: ход 35 мм, точность шага 50 нм.

Примеры изображений / практические случаи

• Морфология глобулярного белкового образца (tapping-режим).
• Потенциал полосовой электродной структуры Au-Ti — сканирование KPFM (lift-режим), пример сканирования: 18 μm × 18 μm.
• Электростатическая сила полосового электрода Au-Ti — EFM (lift-режим), пример сканирования: 18 μm × 18 μm.
• Магнитный домен тонкой пленки Fe-Ni — MFM (lift-режим), пример сканирования: 14 μm × 14 μm.
• Карта вертикальной амплитуды пьезоэлектрического эффекта PbTiO3 — PFM (контактный режим), пример сканирования: 20 μm × 20 μm.
• Морфология полистирольных шариков — tapping-режим, пример сканирования: 10 μm × 10 μm.
• Изображения морфологии нитей SiC.

Характеристики / спецификации

• Тип зонда: микро-кронштейн (micro-cantilever) для 3D-характеризации поверхности.
• Разрешающая способность изображения: до 20 пикометров (заявление системы).
• Позиционирующая платформа: моторизованная платформа позиционирования образца с оптическим изображением; точность позиционирования 1 µm на участке 300 mm × 300 mm.
• Автоматизация: автоматическое выведение зонда и регулировка параметров сканирования; опция полностью автоматической загрузки/разгрузки пластин.
• Поддержка среды и образцов: поддерживает чашки для культивирования, нагревательные платформы, жидкостные ячейки и высокотемпературные установки для гибких экспериментальных условий.
• Типичные применения: характеристика материалов, визуализация магнитных доменов, картирование поверхностного потенциала, картирование пьезоэлектрического отклика, наносекционная морфология биологических и неорганических образцов.