Полировальный станок кремний FTB150MP

для полупроводниковой пластиныпромышленный

FTB150MP — это 6-дюймовый станок для CMP, разработанный для лабораторного применения с учетом потребностей заказчика. Он совместим с различными материалами и оснащен высокопроизводительными полировальными узлами, позволяющими достичь сверхвысокой плоскостности поверхности подложки. Благодаря высокой экономической эффективности данная установка является идеальным лабораторным решением для высокоточных технологических процессов. Размер пластины ≤6 дюймов Материал пластины Si, SiC, GaN и др. Изысканный и компактный дизайн со всеми необходимыми функциями Предназначен для основных научно-исследовательских работ и применения в небольших лабораториях Компактные размеры Высокоинтегрированная конструкция с одной головкой и одной полировальной пластиной. Гибкая интеграция технологических процессов Конструкция с высокой жёсткостью позволяет прикладывать большее давление; может быть оснащена алмазным или нейлоновым щеточным кондиционером. Экономическая эффективность Экономичные лабораторные решения.