Полировальный станок для кристаллов TLT300MP

для полупроводниковой пластиныпромышленныйпрецизионный

TLT300MP — это 12-дюймовое оборудование для CMP, разработанное для лабораторного применения с учетом актуальных потребностей заказчиков. Данное оборудование отличается запатентованной инновационной технологией, высокопроизводительными полировальными узлами и совместимостью как с 8-дюймовыми, так и с 12-дюймовыми пластинками. Оно поддерживает работу с различными материалами и обеспечивает сверхвысокую плоскостность поверхности пластин. Благодаря гибкой интеграции технологических процессов оно отвечает требованиям высокоточных производственных технологий. Размер пластины ≤12 дюймов Материал пластины Si, SiC, GaN и др. Полировальные головки 2 Плита 1 Удовлетворение разнообразных требований заказчиков в различных областях Может гибко применяться в научно-исследовательских работах и мелкосерийном производстве во всех областях полупроводниковой промышленности Многозонная полировальная головка Опционально для 8-дюймовых/12-дюймовых пластин Высокая совместимость Многозонная полировальная головка. Гибкая интеграция в технологический процесс, соответствует требованиям передовых технологий производства.