Система позиционирования XZ 782300:186.26

2 осилинейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологии

XZ System für Labor- und Waferinspektion Настраиваемая: - Идеально подходит для настройки и расширения вашего приложения - Высокоточная повторяемость до 0,4 мкм - Малейшие шаги и высочайшая надежность при сравнительно высокой скорости позиционирования 50 мм/с - Идеальная плоскостность ± 1 для позиционирования средних грузов до 5 кг Комбинация XZ состоит из высокоточных и долговечных стандартных линейных осей PMT160. Эта комбинация подходит для всех применений, требующих идеальной плоскостности, минимальных допусков по тангажу и рысканию, а также плавности хода. Технические характеристики: - Стандартный компонент: PMT160-DC (XZ) - Перемещение: 300 мм (X) / 100 мм (Z) - Повторяемость: ± 0,4 - ± 2,2 мкм (XZ) - Скорость позиционирования: 25 мм/с (X) / 1,12 мм/с (Z) - Макс. нагрузка: 45 Н (X) / 150 Н (Z) - Двигатель: Двигатель постоянного тока, шарико-винтовая пара - Обратная связь: Линейная шкала Индивидуальные опции: - Различные перемещения по оси от 50 до 300 мм - Вращательные движения в комбинации с DT130 или DT200 - Различные варианты двигателей: Двигатель постоянного тока, шаговый двигатель, линейный двигатель и нанодвигатель - Незамедлительное использование с предварительно настроенным контроллером, включая образцовое программное обеспечение - Версии для чистых помещений ISO 14644-1