Система позиционирования XYZ 782481:001.26

линейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиис шариковым винтом

Портал XYZ AFM для контроля пластин, микроскопии Настраиваемый - Идеально подходит для высокожестких и точных измерений без влияния вибрации - Высокая производительность за счет ходов 150 x 275 x 50 мм с возможностью расширения до 550 x 1550 x 50 мм - Исключительная стабильность при остановке на уровне 5 нм и выше - Выдающийся срок службы благодаря использованию неизнашиваемых воздушных подшипников Этот очень жесткий XYZ-гантри специально разработан для высокоточной атомно-силовой микроскопии (АСМ) при исследовании особо крупных стеклянных образцов. Над u-образной платформой для образцов расположен подвижный кантилевер по оси Z для специализированного АСМ. Технические характеристики: - Стандартная система: PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - Ход: 600 x 600 x 100 x 100 мм - Повторяемость: 0,2 - ±2 мкм - Скорость: 500 - 1000 мм (XY) / 10 - 20 мм (Z) - Макс. нагрузка: 150 Н (Z) - Привод: линейный двигатель (железный сердечник), профильная рейка (XY) | шарико-винтовая пара, DC-двигатель, поперечный ролик (Z) - Обратная связь: линейная шкала - Контроллер движения: ACS, интеграция с ПЛК Возможность адаптации: Nanosurf предлагает компактные, собираемые и настраиваемые системы АСМ.