4-осевой портал XY-2Z с диафрагмой
Настраиваемый
- Идеально подходит для точечных дифференциальных измерений высоты при непрерывном движении
- Двусторонние позиционеры с Z-сенсором для апертуры 70 x 100 мм
- Виброгасящая конструкция с превосходными показателями обработки для повторяемости до 1 мкм
- Снижение эмиссии из-за воздухонесущих держателей образцов
- Выдающийся срок службы и возможность круглосуточной работы без технического обслуживания
Эта портальная система позиционирования XYZ позволяет выполнять высокоточные двусторонние процессы контроля с использованием 2 заказных датчиков / микроскопов для различных метрологических задач. Первая ось Z расположена на неподвижной траверсе, второй датчик / микроскоп устанавливается на оси Z под диафрагмой. Держатель образца на воздушной опоре перемещает образец в направлении XY к диафрагме с двумя датчиками на осях Z, каждый из которых может регулироваться по высоте в пределах 100 мм.
Технические характеристики:
- Стандартная система: PLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2)
- Ход: 600 x 600 x 100 x 100 мм
- Повторяемость: 0,2 - ±2 мкм
- Скорость: 500 - 1000 мм (XY) / 10 - 20 мм (Z)
- Макс. нагрузка: 150 Н (Z)
- Привод: линейный двигатель (железный сердечник), профильная рейка (XY) | шарико-винтовая пара, DC-двигатель, поперечный ролик (Z)
- Обратная связь: линейная шкала
- Контроллер движения: ACS, интеграция с ПЛК
Индивидуальные опции:
- Адаптация диапазонов перемещения, носителей и комбинаций длин
- Защитный кожух и различные опорные плиты
- Протираемые, химически стойкие поверхности
- Исполнение по ISO 14644-1 (до класса 1 - по запросу)
- Разработка индивидуального решения с 3D-проектированием под задачу позиционирования
- Диафрагма: 70 x 100 мм
- Длина x ширина x высота: 1850 x 1920 x 1150 мм
---