Система позиционирования XYZ 782300:222.26

портальнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиис шаговым двигателем

Настраиваемый: - Идеально подходит для контроля поверхности и измерения толщины покрытия больших образцов размером до 650 x 650 мм - Точное измерение с повторяемостью до 2 мкм - Хорошее соотношение цены и качества благодаря приводу с шаговым двигателем - Прочная и надежная ось Z для датчиков весом до 20 кг - Подходит для работы в промышленных условиях, например, в пыли, дыму Эта инспекционная система специально разработана для автоматизированного контроля качества больших и плоских образцов весом до 50 кг. Система позиционирования позволяет одновременно позиционировать датчик по оси Z и образец по оси XY на очень компактной площади. Технические характеристики: - Standardkomponente: PLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - Перемещение: 650 мм (XY) / 100 мм (Z) - Повторяемость: ± 3,9 - ± 4,4 мкм (XYZ) - Скорость: 5 мм/с (XYZ) - Макс. нагрузка: 300 Н (X), 1000 Н (Y) / 160 Н (Z) - Привод: Шаговый двигатель (XY) | мануальный (Z) - Обратная связь: - открытый контур (XY) Индивидуальные опции: - Различные перемещения до 1000 мм - С/без рамы и опорной плиты из гранита или алюминия - Исполнение ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу), например, с корпусом и с вытяжной системой - Индивидуальные решения для прокладки кабелей - Адаптированное гашение вибрации с помощью демпфирующего резинового слоя или пневматических демпферов - Непосредственное использование с предварительно настроенным контроллером и образцовым программным обеспечением