Система позиционирования 1 ось 782300:212.26

ротационнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля полупроводниковой промышленности

X Phi система для позиционирования оптических линз, цилиндров Настраиваемая: - Идеально подходит для оптических измерений круглых деталей, например, пластин, оптики - Экономия на приобретении дополнительной оси загрузки благодаря высокоточным вращательным движениям с ходом - Высокая повторяемость до 0,0017 - Точное перемещение на 1,9 мкм с X в позицию измерения Эта система позиционирования X-Phi состоит из высокоточных и долговечных стандартных осей линейной ступени PMT160 и, для вращения, DTS130-HM. Она идеально подходит для измерительных задач, в которых образец перемещается точно в позицию измерения и поэтому не требуется дополнительная ось подачи. Технические характеристики: - Стандартная система: PMT160-DC (X) / DTS130 (Phi (Rz)) - Перемещение: 135 мм (X) / n x 360 мм (Phi (Rz)) - Повторяемость: ± 1,9 - ± 2,4 мкм (X) / ± 0,0017 - ± 0,005 мкм (Phi (Rz)) - Скорость позиционирования: 10 мм/с (X) / 50 мм/с (Phi (Rz)) - Макс. нагрузка: 150 Н (X) / 74 Н (Phi (Rz)) - Двигатель: DC-двигатель, шарико-винтовая пара (XZ) / AC-сервопривод (Phi (Rz)) - Обратная связь: Линейная шкала (XZ) / Угловая шкала (Phi (Rz)) Настраиваемый: - Ход до 300 мм - Основание из гранита или алюминия - Поставляется с внутренней шкалой (270 мм) - Можно комбинировать с другими поворотными ступенями, например, DT200 - Возможны версии для чистых помещений ISO 14644-1 - Немедленное использование с предварительно настроенным контроллером, включая образцовое программное обеспечение