Система позиционирования XYZ 782300:179.26

портальнаядля полупроводниковой промышленностидля чистого помещения

Портал XXL XYZ с вакуумным патроном Настраиваемый: - Идеально подходит для автоматизированного контроля поверхности с изменением фокуса - Рассчитан на вес образца до 50 кг (без учета вакуумной ступени) - Пассивное виброгашение и устранение вибраций здания (стандартная измерительная камера класса качества 3 согласно VDI 2627) - Чрезвычайно долгий срок службы: 1 000 000 полных циклов и интервал технического обслуживания 500 000 полных циклов или каждые 2 года Эта система позиционирования перемещает вакуумный патрон на площади 1000 x 1000 мм. Стандартная система PMT160-SM крепится к оси траверсы для датчика по выбору заказчика, который используется для изменения фокуса. Оси полностью закрыты, что предотвращает загрязнение и помехи. Технические характеристики: - Стандартная система: PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - Перемещение: 1000 мм (XY) / 100 мм (Z) - Повторяемость: ± 3,9 - ± 4,4 мкм (XY) / ± 1,9 - ± 2,4 мкм (Z) - Скорость позиционирования: 30 мм/с (XY) / 10 мм/с (Z) - Макс. нагрузка: 490 Н (XY) / 40 Н (F) / ± 45 Н (Z) - Двигатель: Шаговый двигатель (XYZ) - Направляющая: Шариковый винт (XYZ) - Опора: Профильная шина (XY) / Поперечные роликовые подшипники (Z) - Обратная связь: Открытый контур (XYZ) - Länge x Breite x Höhe: 2250 x 1500 x 1500 мм Индивидуальные опции: - С линейной шкалой для точности до 0,3 мкм - Модульная конфигурация системы - Безопасный шкаф - Специальная конфигурация для полупроводников, биотехнологий, фармацевтики - Версии для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Готовое к использованию управление движением с предварительно настроенным контроллером, включая программное обеспечение для образцов - Индивидуальная разработка решения с 3D-проектированием для задачи позиционирования