Система позиционирования XYZ 782300:193.26

линейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля контроля качества

Система XYZ для инспекции и контроля качества Настраиваемая: - Очень высокая точность биения и повторяемость до 0,3 мкм - Позиционирование грузов до 150 Н с помощью экономичного привода - Высокая скорость до 50 мм/с - Сокращение случайных ошибок до минимума - Простая интеграция и гибкое сочетание с существующими системами камер и датчиков Система позиционирования обеспечивает позиционирование по трем линейным осям. В этом устройстве линейная ступень PMT160 устанавливается на поперечный стол KT470 с помощью адаптерного кронштейна. При этом достигаются низкие погрешности биения с точки зрения прямолинейности и плоскостности, которые достигаются за счет использования скрещивающихся роликов. Технические характеристики: - Перемещение: 300 мм (XY) / 100 мм (Z) - Повторяемость: ± 0,3 - ± 1,7 мкм (XYZ) - Скорость позиционирования: 25 мм/с (XY) - Макс. нагрузка: 45 Н (X) / 150 Н (YZ) - Двигатель: Двигатель постоянного тока - Обратная связь: Линейная шкала Индивидуальные опции: - Различные перемещения по оси Z от 50 до 300 мм - Различные варианты двигателей: Двигатель постоянного тока или шаговый двигатель - Немедленное использование с предварительно настроенным контроллером, включая примерное программное обеспечение - Версии для чистых помещений ISO 14644-1