Система позиционирования 8 осей 417815.2022.W3.AB

многооснаяпортальнаяс сервоприводом

Настраиваемый: - Идеально подходит для тангенциального сканирования благодаря широким возможностям настройки - Коррекция наклона и бокового смещения до 0,5 мкм - Апертура 45 мм для линии луча - Поворотный столик на воздушной опоре для точности до 0,0005° Эта система позиционирования обеспечивает тангенциальное сканирование по 6 степеням свободы с очень высокой повторяемостью. Держатель образца, регулируемый по фокусу, углу и расстоянию, расположен на выравнивателе XYZ phi delta с апертурой, который корректирует наклон и боковое смещение по 4 осям. Технические характеристики: - Стандартная система: DT250 (Rz) / MP200-5 (X, Y, Rx, Ry) / PMT160-DC-L (F) / PLT165-SM (Z) - Перемещение: n x 360 мм (Rz) / ±1,5 - ±2 мм (X, Y, Rx, Ry) / 90 мм (R) / 50 мм (F) / 100 мм (Z) - Повторяемость: 0,0005 - 0,001 мкм (Rz) / ±0,5 - ±5,2 мкм (X, Y, Rx, Ry) / 1 мкм (R) / ±0,3 - ±0,4 мкм (F) / ±3,9 - ±4,4 мкм (Z) - Скорость позиционирования: 700-1400 мм/с (Rz) / 0,4 - 0,8 (XYZ) / 30-80 мм/с (FZ) - Макс. нагрузка: 20 Н (Ry) / 40 Н (F) / 150 Н (Z) - Двигатель: Динамический линейный двигатель с железным сердечником (Rz) / шаговый двигатель (X, Y, Rx, Ry, Z) / вручную (R) - Направляющие: Воздушный подшипник (Rz) / твердотельный, редуктор, ведущий винт (X, Y, Rx, Ry) / скользящая направляющая (R) / подшипники поперечных роликов, шариковый винт (F) / профильная рейка, шариковый винт (Z) - Обратная связь: Угловая шкала (Rz) / Открытая петля (XY, Rx, Ry, Z) / Шкала (R) / Линейная шкала (F) - Апертура: Ø 45 мм Индивидуальные опции: - Комбинируемые стандартные ступени для движений XYZ-Rx-Ry-Rz - Индивидуальная конфигурация с рамой, виброизоляцией, корпусом - Технологическая адаптация для датчика/измерительной головки, держателя образца - Исполнение для чистых помещений, лабораторий и производства - Беспроводная передача питания и сигнала - Интеграция в рабочие процессы через ПЛК или контроллер ПК