Система позиционирования XYZ 782300:113.26

линейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля лабораторного применения

Система XYZ для лабораторного контроля и контроля пластин Настраиваемая: - Идеально подходит для настройки и расширения вашего приложения - Высокоточная повторяемость до 0,5 мкм - Малейшие шаги и высочайшая надежность при сравнительно высокой скорости позиционирования 50 мм/с - Идеальная плоскостность ± 0,5 мкм для позиционирования средних нагрузок до 150 Н Эта комбинация XY с отдельным Z-вертикальным блоком состоит из высокоточных и долговечных стандартных линейных осей PMT160. Эта комбинация подходит для всех применений, требующих идеальной плоскостности, минимальных допусков по тангажу и рысканию, а также плавности хода. Технические характеристики: - Стандартный компонент: PMT160-DC (XYZ) - Перемещение: 300 мм (X) / 150 мм (Y) / 50 мм (Z) - Повторяемость: ± 0,5 - ± 1,5 мкм (XYZ) - Скорость позиционирования: 25 мм/с (XYZ) - Макс. нагрузка: 45 Н (X) / 150 Н (YZ) - Двигатель: DC-двигатель, шарико-винтовая пара - Обратная связь: Линейная шкала Индивидуальные опции: - Различные перемещения по оси от 50 до 300 мм - Вращательные движения в комбинации с DT130 или DT200 - Различные варианты двигателей: Двигатель постоянного тока, шаговый двигатель, линейный двигатель и нанодвигатель - Незамедлительное использование с предварительно настроенным контроллером, включая образцовое программное обеспечение - Версии для чистых помещений ISO 14644-1