Печь с защитным колпаком RLA-1200

для окислениядля отжигагазовая

Эта система лампового отжига для пластин размером от 4 до 8 дюймов позволяет достичь высокого качества обработки даже для использования в научно-исследовательской деятельности. Активация и окисление доступны в среде вакуума (LP) и в атмосфере N2 с блокировкой нагрузки. Характеристики Высокопроизводительный процесс при проведении НИОКР Недорогая система за счет ручного переноса сусцептора Структура верхней и нижней поперечных ламп и печь для выдержки улучшают равномерность температуры в плоскости доступен размер пластин от 4 до 8 дюймов Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Вакуумная кварцевая трубка обеспечивает точное замещение газа и процесс при вакуумном давлении Эта система лампового отжига для НИОКР 4- 8-дюймовых пластин экономит затраты на обработку благодаря высокоскоростному нагреву со скоростью 200°C/сек и ручному переносу сусцептора. Структура с использованием верхней и нижней поперечных галогенных ламп позволяет достичь превосходной равномерности температуры в плоскости, что делает реальностью как недорогую, так и высококачественную обработку. Благодаря кварцевой трубке, обладающей свойством вакуумной стойкости, обработка возможна в среде чистого вакуума (LP) и в атмосфере блокировки нагрузки N2.