Печь для отжига VF-5300
диффузиидля окислениядля термообработки

печь для отжига
печь для отжига
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Функция
для термообработки, для отжига, для окисления, диффузии
Конфигурация
в виде шкафа
Источник тепла
электрический
Атмосфера
в контролируемой атмосфере
Другие характеристики
непрерывного действия, вертикальный, для электронной промышленности
Ширина

900 mm
(35,43 in)

Высота

3 300 mm
(129,92 in)

Глубина

2 300 mm
(90,55 in)

Описание

Эта вертикальная печь со встроенным стокером обрабатывает 8-дюймовые пластины при сверхвысоких температурах большими партиями. Эта печь представляет собой систему термообработки полупроводников, которая может выполнять окисление, диффузию, LPCVD, активационный отжиг и различные другие виды термообработки. Характеристики Крупная партия, максимум 150 пластин для пакетной обработки Максимум 20 запасов кассет Отличный контроль температуры от низкой до средневысокой с помощью нагревателя LGO Высокоскоростная передача пластин с помощью робота для перемещения одной/пяти пластин Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Данная модель представляет собой непрерывную крупносерийную вертикальную диффузионную печь массового производства, оснащенную накопителем для максимального количества 150 пластин (8-дюймовых) или 20 кассет. Благодаря нагревателю LGO, эта печь демонстрирует превосходные температурные характеристики в диапазоне от низких до сверхвысоких температур. Эта печь может использоваться для широкого спектра обработки от низкотемпературного отжига, нитридов (Si3N4), поликремния (poly Si) и других материалов LPCVD до окисления и диффузии. Нагреватель с дисилицидом молибдена (MoSi2) также может использоваться для оксинитрирования затворов силовых устройств SiC и других видов сверхвысокотемпературной обработки.

---

Другие изделия Koyo Thermos Systems

Semiconducteur equipment

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.