Печь для окисления VF-1000

в виде шкафаэлектрическаядля лабораторий

Эта небольшая вертикальная печь производственного типа для экспериментов и исследований (R&D) позволяет достичь высокого качества обработки. Эта печь компактна и требует лишь небольшой площади для установки, но может использоваться для широкого диапазона диаметров пластин и демонстрирует те же температурные характеристики, что и печи для серийного производства. Характеристики Высокопроизводительная обработка для НИОКР Пакетная обработка не более 25 пластин доступны пластины размером от 2 до 8 дюймов и 300 мм Оснащен нагревателем LGO для обеспечения таких же высокотемпературных характеристик, как и у оборудования для массового производства Оснащен простой системой управления с ограниченной функциональностью Эта вертикальная печь для экспериментов, исследований (R&D) и малого производства может быть использована для широкого диапазона размеров пластин от 2- до 8-дюймовых и до 300-мм, а размер мини-партии также может быть выбран от до 25 пластин. Поскольку нагреватель может быть выбран из LGO-нагревателя и различных других нагревателей, разработка процесса возможна при той же структуре отверстия печи и производительности нагревателя, что и в печах массового производства. Эта печь может использоваться для различных видов обработки кремниевых пластин (LPCVD, окисление и диффузия), оксинитрирования кремниевых затворов и активационного отжига для разработки силовых устройств (Si и SiC), а также для широкого спектра других процессов.