Печь с камерой SO2-12-F

электрическаяс циркуляцией воздуха

В этой чистой печи обрабатываются 300-миллиметровые (12-дюймовые) пластины для производства полупроводников. С помощью FOUPs в каждой камере можно полностью автоматически обрабатывать 50 пластин. Система может использоваться для низкотемпературной обработки полиимида и других материалов. Характеристики Полностью автоматическая чистая печь для работы в режиме FOUP Максимум 50 пластин на камеру Один робот доступен для 2 камер 2 FOUP на камеру Высокоскоростная передача пластин с помощью двойного робота для перемещения пластин Эта чистая печь для производства полупроводников была разработана путем внедрения самого продаваемого оборудования для производства FPD, чистой печи для обработки одной пластины. Эта печь может работать полностью автоматически, используя 300-миллиметровые (12-дюймовые) FOUPs. в каждой камере можно обрабатывать 50 пластин, можно установить до 2 камер (для каждой камеры используется 2 FOUP). Высокая производительность при коротком времени цикла реализуется при низкотемпературной обработке полиимида и других материалов.