Печь в виде шкафа VF-5700

для термообработкидля окисленияэлектрическая

Эта система термообработки выполняет окисление, диффузию и CVD кремниевых пластин, IGBT, полиимида и тонких пластин. Поскольку ее высота составляет менее 3000 мм, эта модель может быть легко введена в эксплуатацию. Она отличается коротким временем цикла и высокой пропускной способностью. Характеристики Мини-партийная, гибкая пакетная обработка от 25 до 50 пластин Высокая производительность благодаря использованию мощного нагревателя с быстрым временем нагрева Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Компактный размер без стокера Эта вертикальная диффузионная печь с коротким временем цикла и высокой производительностью обрабатывает пластины диаметром 300 мм (12 дюймов) в мини-партии по 25-50 пластин. Поскольку пространство для складирования исключено, ее высота составляет менее 3000 мм, что облегчает ее установку. Существует много случаев, когда печи вводятся без чулок, что позволяет сократить расходы, связанные с чулком. Благодаря нагревателю LGO печь демонстрирует превосходные температурные характеристики в широком диапазоне от низких до средневысоких температур. Она подходит для термообработки IGBT, полиимида, тонких пластин и других материалов в дополнение к кремниевым пластинам.