Печь для термообработки VF-5700
для окисленияв виде шкафаэлектрическая

печь для термообработки
печь для термообработки
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Функция
для термообработки, для окисления
Конфигурация
в виде шкафа
Источник тепла
электрическая
Другие характеристики
для применения в авиакосмической промышленности
Ширина

1 250 mm
(49,21 in)

Высота

2 850 mm
(112,2 in)

Глубина

2 000 mm
(78,74 in)

Описание

Эта система термообработки выполняет окисление, диффузию и CVD кремниевых пластин, IGBT, полиимида и тонких пластин. Поскольку ее высота составляет менее 3000 мм, эта модель может быть легко введена в эксплуатацию. Она отличается коротким временем цикла и высокой пропускной способностью. Характеристики Мини-партийная, гибкая пакетная обработка от 25 до 50 пластин Высокая производительность благодаря использованию мощного нагревателя с быстрым временем нагрева Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Компактный размер без стокера Эта вертикальная диффузионная печь с коротким временем цикла и высокой производительностью обрабатывает пластины диаметром 300 мм (12 дюймов) в мини-партии по 25-50 пластин. Поскольку пространство для складирования исключено, ее высота составляет менее 3000 мм, что облегчает ее установку. Существует много случаев, когда печи вводятся без чулок, что позволяет сократить расходы, связанные с чулком. Благодаря нагревателю LGO печь демонстрирует превосходные температурные характеристики в широком диапазоне от низких до средневысоких температур. Она подходит для термообработки IGBT, полиимида, тонких пластин и других материалов в дополнение к кремниевым пластинам.

---

Другие изделия Koyo Thermos Systems

Semiconducteur equipment

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.