Вертикальная печь, обеспечивающая сверхвысокотемпературную обработку, идеально подходит для производства силовых устройств. Поддерживает 6-8-дюймовые пластины и имеет механизм автоматической передачи пластин. Может использоваться для массового производства.
Характеристики
Поддерживает максимум 100 пластин на партию и может использоваться на линиях массового производства.
Поддерживает широкий диапазон размеров пластин от 6 до 8 дюймов.
Внутренняя часть печи имеет нашу запатентованную безметалловую конструкцию.
Обеспечивает контроль температуры в непосредственной близости от вафель.
В стандартную комплектацию входит блокировка загрузки N2.
Высокопроизводительная транспортировка кассеты в кассету
Отжиг в атмосфере H2 с округлением траншеи доступен в качестве опции.
VF-5300HLP - это вертикальная печь, которая может обрабатывать максимум 100 пластин в партии и широкий диапазон размеров пластин от 6 до 8 дюймов. Тщательно подобранное оборудование и особенности системы управления позволяют использовать печь на линиях массового производства. Внутренняя часть печи имеет нашу запатентованную безметалловую конструкцию. VF-5300HLP поддерживает процессы сверхвысокотемпературного активационного отжига.
---