Печь для термообработки VF-5900
для окисленияв виде шкафаэлектрическая

печь для термообработки
печь для термообработки
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Функция
для термообработки, для окисления
Конфигурация
в виде шкафа
Источник тепла
электрический
Атмосфера
в контролируемой атмосфере
Другие характеристики
для применения в авиакосмической промышленности
Ширина

1 250 mm
(49,21 in)

Высота

3 450 mm
(135,83 in)

Глубина

3 200 mm
(125,98 in)

Описание

Эта печь представляет собой систему термообработки для окисления, диффузии и CVD кремниевых пластин, IGBT, полиимида и тонких пластин. Являясь нашей флагманской моделью, эта печь оснащена стокером большой емкости и отличается коротким временем цикла. Характеристики Большая партия, макс. 100 пластин в партии Максимум 16 запасов FOUP Отличный контроль температуры от низкой до средне-высокой благодаря использованию нагревателя LGO Высокоскоростная передача пластин с помощью робота для перемещения одной/пяти пластин Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Эта вертикальная диффузионная печь для крупносерийного производства может обрабатывать максимум 100 пластин (300 мм / 12 дюймов) или 16 FOUP в партии. Для обеспечения превосходных температурных характеристик от низких до средневысоких температур используется нагреватель LGO. Помимо кремниевых пластин, печь подходит для термообработки IGBT, полиимида, тонких пластин и других материалов.

---

Другие изделия Koyo Thermos Systems

Semiconducteur equipment

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.