Вертикальная печь, обеспечивающая высокотемпературную обработку, идеально подходит для производства силовых устройств. Поддерживает оксинитрирование и пластины размером до 8 дюймов. Оснащен автоматическим механизмом переноса пластин и может использоваться для решения широкого круга задач - от НИОКР до серийного производства.
Особенности
Поддерживаются партии от мини- партий до 50 пластин, а также области применения от НИОКР до серийного производства.
Поддерживает широкий диапазон размеров пластин до 8 дюймов.
Позволяет контролировать температуру в непосредственной близости от пластин.
Внутренняя поверхность печи имеет собственную конструкцию, не содержащую металла.
Поддерживает последовательную обработку различных процессов окисления/оксинитрирования (мокрое/сухое окисление, отжиг H2, азотирование NH3, NO/N2O окисление).
Механизм очистки камеры (опция)
---