Печь с защитным колпаком RLA-3100

для окислениядля отжигагазовая

Эта система для 4 - к вафлям 8 дюймов выполняет активацию и оксидацию в атмосфере окружающей среды вакуума (LP) и нагрузк-замка N2. Верхние и более низкие перекрестные лампы (галоид) и выдерживая система использованы для более высокого единообразия распределения по температурам в-самолета. Особенности Верхняя & более низкая перекрестная структура лампы и нагреть uniformizing блок для того чтобы улучшить единообразие температуры в-самолета 4- к вафле 8 дюймов размер доступен робот Мульти-оси чистый включает высокоскоростную и точную передачу вафли Обработка вафель Макс 50 непрерывная доступна Оборудованный с дружественной к оператор системой управления высокой эффективности Конструированная вакуумом трубка кварца включает точные замещение и процесс газа на давлении вакуума