Вертикальная печь, обеспечивающая высокотемпературную обработку, идеально подходит для производства силовых устройств. Поддерживает оксинитрирование и пластины размером до 8 дюймов. Имеет автоматический механизм передачи пластин и может использоваться для массового производства.
Характеристики
Поддерживает макс. 75 пластин (200 мм / 8 дюймов) или макс. 100 пластин (150 мм / 6 дюймов), и использование на линиях массового производства.
Поддерживает широкий диапазон размеров пластин до 8 дюймов.
Обеспечивает контроль температуры в непосредственной близости от вафель.
Внутри печи используется наша запатентованная конструкция, не содержащая металлов.
Поддерживает серийную обработку различных процессов окисления/оксинитрирования (влажное/сухое окисление, отжиг H2, азотирование NH3, оксинитрирование NO/N2O).
Механизм очистки камеры (опция)
VF-5300H - это вертикальная печь, которая может обрабатывать максимум 100 пластин в партии и широкий диапазон размеров пластин от 3 до 8 дюймов. Тщательно подобранное оборудование и особенности системы управления позволяют использовать печь на линиях массового производства. Внутренняя часть печи имеет нашу запатентованную безметалловую конструкцию. VF-5300H обеспечивает высокотемпературную обработку, что делает ее идеальной для производства силовых устройств. Она также может выполнять оксинитрирование.
---