Высокотемпературная выпечка в чистой среде обеспечивается термостойким высокопроизводительным фильтром и уникальным холодильным агрегатом. Система циркуляции горячего воздуха используется для высокоточного выпекания/старения пластин и стеклянной подложки, полиимидного отверждения и отжига.
Особенности
Для высокотемпературной выпечки установлены термостойкий высокопроизводительный фильтр и наше уникальное охлаждающее устройство.
Внутренняя поверхность камеры может поддерживать чистоту класса 100 при стабильной температуре.
Существует 2 типа воздуходувок: с передней стороны воздуходувки с горизонтальной циркуляцией (тип V) и с боковой воздуходувкой (тип III). Оба достигают высокой тепловой эффективности и хорошей однородности температуры.
Этот тип печи оптимален для выпечки полупроводниковых пластин и стеклянной подложки, выпечки, старения и других термических обработок, требующих высокой точности.
Инертные газы могут вводиться в камеры для использования печей в качестве инертных газов.
---