Печь для отжига VF-5100
диффузиидля окисленияв виде шкафа

печь для отжига
печь для отжига
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Функция
для отжига, для окисления, диффузии
Конфигурация
в виде шкафа
Источник тепла
электрический
Атмосфера
в контролируемой атмосфере
Другие характеристики
высокотемпературный, вертикальный, для электронной промышленности
Ширина

900 mm, 1 000 mm
(35,43 in, 39,37 in)

Высота

2 930 mm, 3 300 mm
(115,35 in, 129,92 in)

Глубина

1 850 mm, 1 950 mm
(72,83 in, 76,77 in)

Описание

Эта крупносерийная диффузионная вертикальная печь LPCVD выполняет сверхвысокотемпературную обработку 4- 8-дюймовых пластин. Система может быть гибко сконфигурирована для того, чтобы ваша производственная линия могла обрабатывать различные продукты. Эта печь отлично подходит для производства силовых устройств. Характеристики Гибкая конфигурация оборудования доступна для различных производственных линий можно выбрать размер партии от 50 до 150 пластин размер пластин от 4 до 8 дюймов от 4 до 8 запасов кассет Отличный температурный контроль от низких до средневысоких температур с помощью нагревателя LGO Высокоскоростная передача пластин с помощью робота для перемещения одной/пяти пластин Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Эта вертикальная печь для 4- 8-дюймовых пластин гибко отвечает потребностям вашей производственной линии. Вы можете выбрать количество обрабатываемых пластин от 50 до 150. Вы можете выбрать нагреватель из нагревателя LGO, нагревателя дисилицида молибдена (MoSi2) и углеродного нагревателя, поэтому печь может использоваться не только для низкотемпературного отжига, нитрида (Si3N4), поликремния (poly Si) и других материалов LPCVD, окисления и диффузионной обработки, но и для оксинитрирования кремния затвора силовых приборов SiC, активационного отжига и другой сверхвысокотемпературной обработки.

---

Другие изделия Koyo Thermos Systems

Semiconducteur equipment

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.