Печь в виде шкафа VF-5100

для отжигадля окислениядиффузии

Эта крупносерийная диффузионная вертикальная печь LPCVD выполняет сверхвысокотемпературную обработку 4- 8-дюймовых пластин. Система может быть гибко сконфигурирована для того, чтобы ваша производственная линия могла обрабатывать различные продукты. Эта печь отлично подходит для производства силовых устройств. Характеристики Гибкая конфигурация оборудования доступна для различных производственных линий можно выбрать размер партии от 50 до 150 пластин размер пластин от 4 до 8 дюймов от 4 до 8 запасов кассет Отличный температурный контроль от низких до средневысоких температур с помощью нагревателя LGO Высокоскоростная передача пластин с помощью робота для перемещения одной/пяти пластин Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления Эта вертикальная печь для 4- 8-дюймовых пластин гибко отвечает потребностям вашей производственной линии. Вы можете выбрать количество обрабатываемых пластин от 50 до 150. Вы можете выбрать нагреватель из нагревателя LGO, нагревателя дисилицида молибдена (MoSi2) и углеродного нагревателя, поэтому печь может использоваться не только для низкотемпературного отжига, нитрида (Si3N4), поликремния (poly Si) и других материалов LPCVD, окисления и диффузионной обработки, но и для оксинитрирования кремния затвора силовых приборов SiC, активационного отжига и другой сверхвысокотемпературной обработки.