Метрологическая система для полупроводниковой пластины OCD

Технология OCD Solutions оптимизирует все возможности и возможности подключения систем Atlas и IMPULSE для оптической метрологии критических размеров (OCD) Обзор продукции Технология OCD компании Onto Innovation предлагает мощное моделирование OCD и расширенные возможности машинного обучения, а также регрессию нового поколения в режиме реального времени, автономные инструменты анализа чувствительности и комплексный графический интерфейс и ввод структуры для истинного многовариантного моделирования. Программные пакеты Ai Diffract и SpectraProbe предоставляют передовые возможности в интуитивно понятных и простых для развертывания аппаратных форм-факторах. Каждый компонент расширяет возможности OCD для автономных и интегрированных метрологических систем Atlas и IMPULSE, от автономной поддержки и разработки рецептов до сетевого взаимодействия в масштабах завода и подключения для простого управления парком оборудования. Программное обеспечение Ai Diffract™ Программное обеспечение для моделирования и анализа OCD, управляемое искусственным интеллектом, для высокоточной поточной оптической метрологии и автономной разработки рецептов Программное обеспечение Ai Diffract - это мощное программное обеспечение для моделирования, визуализации и анализа с интуитивно понятным интерфейсом 3D-моделирования, упрощающее построение и визуализацию самых сложных современных полупроводниковых устройств. Собственные алгоритмы подгонки в ПО Ai Diffract обеспечивают быстрые и точные вычисления для обработки сигналов для высокоточных измерений на основе модели. Функции автоматизации для подгонки спектра, оптимизации рецептов и анализа чувствительности обеспечивают высокую продуктивность работы пользователя. Первый на рынке движок с искусственным интеллектом объединяет моделирование на основе физики и машинное обучение для обеспечения наиболее надежного решения с быстрым временем решения.