Метрологическая система для полупроводниковой пластины NanoSpec® II

Доступная в настольной и автономной конфигурациях, система анализа пленки Nanopsec II замыкает цикл между инженерной и исследовательской деятельностью и конечным производственным использованием рецептов и алгоритмов анализа Обзор продукции Расширяя диапазон и производительность проверенной в отрасли серии NanoSpec, NanoSpec II представляет собой новый дизайн с автоматическим выравниванием образца, быстрой автофокусировкой и повторяемостью измерений лучше 1Å*. В систему может быть встроено программное обеспечение Onto Innovation для спектроскопического анализа отражательной способности, обработки изображений для автоматического выравнивания образцов и различных вариантов оптической конфигурации, что делает автоматизированную систему NanoSpec II самой мощной в своем классе систем для тонких пленок. NanoSpec II полностью совместим с картами материалов предыдущих поколений продуктов Nanospec. Кроме того, многие модели дисперсии, созданные эллипсометрами Woollam®, могут быть импортированы и использованы без преобразования. Доступный как в настольной, так и в автономной конфигурации, Nanopsec II замыкает цикл между инженерно-исследовательской деятельностью и конечным производственным использованием рецептов и алгоритмов анализа. Легкая переносимость рецептов позволяет разрабатывать их вне производственной линии без нарушения стандартного производственного процесса. Различные варианты автономного анализа данных позволяют инженерам в любое время повторно обрабатывать отклонения в процессе, даже если исходный образец больше недоступен. Оптика была разработана для обеспечения надежной и прочной метрологии при минимальных затратах на техническое обслуживание.