Метрологическая система для полупроводников Iris™ series

Серия инструментов Iris, включающая модели Iris C1, T1 и R1, позволяет контролировать процессы в широком диапазоне применений в крупносерийном производстве с превосходными характеристиками и стоимостью владения. Обзор продукции Серия Iris предназначена для того, чтобы обеспечить нашим клиентам наилучшую стоимость владения с помощью специальной оптической конфигурации для применения в HVM-приложениях в производстве полупроводников. Система Iris C1 объединяет запатентованное решение для спектроскопической эллипсометрии из семейства Atlas® с ведущим в отрасли программным обеспечением OCD-анализа AI-Diffract™ компании Onto Innovation, что позволяет осуществлять высокоточный контроль каждого критического этапа процесса производства полупроводников. Система включает в себя двуплечий робот, высокоточный штатив и высокоскоростную систему фокусировки. Система также оснащена усовершенствованной системой распознавания образов, улучшенной воспроизводимостью толщины и производительностью. Программный интерфейс N2000™ и усовершенствованная автоматизация соответствуют стандартам, принятым SEMI и другими организациями. Система Iris и решение AI-Diffract обеспечивают понимание сложных профилей структуры в таких областях, как травление, очистка, осаждение, CMP и тонкие пленки. Iris T1 - это спектроскопическая эллипсометрическая система, которая обеспечивает точные, воспроизводимые поточные измерения толщины и оптической постоянной однослойных и многослойных диэлектрических пленок для применения в масштабах всей фабрики. Система Iris T1 построена на той же проверенной в эксплуатации платформе Atlas и использует самые последние достижения в оптике и алгоритмах, что делает ее лучшей в своем классе по производительности и стоимости владения. Программный интерфейс N2000™, соответствующий стандарту SEMI/CE, позволяет обмениваться рецептами между инструментами серии Iris.