Метрологическая система для полупроводниковой пластины Echo™

для полупроводников

Пикосекундная ультразвуковая технология, или технология PULSE™, является отраслевым стандартом для метрологии металлических пленок. Система Echo™ является последним дополнением к семейству акустических метрологических продуктов Onto Innovation и призвана расширить лидерство в нескольких сегментах передовых устройств Обзор продукции Система Echo - это комплексный поточный инструмент для измерения металлических пленок в одно- и многослойных металлических пленках в передовых логических устройствах, памяти, усовершенствованной упаковке и специальных полупроводниковых устройствах. Инновационная конструкция оптики расширяет динамический диапазон измерения толщины пленки от 50Å до 35 мкм на одной платформе и обеспечивает возможность измерения передовых 3D NAND структур с высоким соотношением сторон. Программное обеспечение Expert Applications System (EASy™) обеспечивает гибкость при разработке пользовательских алгоритмов для моделирования сложных многослойных стеков. Система Echo также расширяет возможности технологических систем PULSE по определению характеристик материалов. В дополнение к модулю Юнга диэлектрических пленок с низким К в BEOL и жестких масок из аморфного углерода в 3D NAND, система Echo включает обновленную электронику и алгоритмы для определения характеристик монитора имплантатов и теплопроводности. Малый размер пятна в сочетании с быстрыми измерениями обеспечивает возможность полного картирования полупроводниковой пластины с точностью до 0,5 мм от края, улучшая оборачиваемость информации и ее качество при разработке и оптимизации процессов. Технические характеристики - Поточные оптико-акустические измерения с использованием фемтосекундного сверхбыстрого лазера - Малый размер пятна (8x10 мкм) позволяет проводить измерения на участке размером 15 мкм - Типичная толщина металлических пленок от 50Å до 35 мкм - Высокая пропускная способность до 60 Вт/ч