Метрологическая система для полупроводниковой пластины Atlas® III+

Серия Atlas à couches minces et OCD является средством метрологии для производства устройств FinFET, FET с затворным обходом (GAA), 3D NAND и DRAM. Благодаря расширению метрологических характеристик до уровня суб-ангстремной точности и аккуратности, система Atlas III+ обеспечивает расширенный контроль процессов в широком диапазоне применений в крупносерийном производстве. Семейство продуктов Atlas включает запатентованное решение для спектроскопической рефлектометрии и спектроскопической эллипсометрии, и в сочетании с ведущим в отрасли программным обеспечением Onto Innovation Spectraprobe™ и AI-Diffract™ для анализа OCD позволяет контролировать процесс каждой критической операции производственного подразделения. Система Atlas III+ и решение AI-Diffract позволяют получить представление о сложных профилях структуры на этапах травления, очистки, осаждения и CMP.