Метрологическая система для полупроводниковой пластины The Atlas XP+

метрологическая система для полупроводниковой пластины
метрологическая система для полупроводниковой пластины
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Тип
для полупроводниковой пластины

Описание

Серия Atlas для тонких пленок и ОКР является метрологическим инструментом для производства передовых FinFET, FET с обходным затвором (GAA), 3D NAND и современных DRAM устройств. Система Atlas XP+ представляет собой единую платформу для измерений тонких пленок и ОКР для метрологии 200-мм пластин. Система включает в себя двуплечий робот, высокоточный столик и высокоскоростную систему фокусировки. Система также оснащена усовершенствованной системой распознавания образов, улучшенной воспроизводимостью толщины и превосходной пропускной способностью SR и SE. Программный интерфейс N2000™ и усовершенствованная автоматизация соответствуют стандартам, принятым SEMI и другими организациями. Функция NanoNet®, сетевой компонент программного обеспечения платформы анализа N2000, обеспечивает согласование между системами и беспрепятственную передачу рецептов.

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Onto Innovation Inc.
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.