Серия Atlas для тонких пленок и ОКР является метрологическим инструментом для производства передовых FinFET, FET с обходным затвором (GAA), 3D NAND и современных DRAM устройств.
Система Atlas XP+ представляет собой единую платформу для измерений тонких пленок и ОКР для метрологии 200-мм пластин. Система включает в себя двуплечий робот, высокоточный столик и высокоскоростную систему фокусировки. Система также оснащена усовершенствованной системой распознавания образов, улучшенной воспроизводимостью толщины и превосходной пропускной способностью SR и SE. Программный интерфейс N2000™ и усовершенствованная автоматизация соответствуют стандартам, принятым SEMI и другими организациями. Функция NanoNet®, сетевой компонент программного обеспечения платформы анализа N2000, обеспечивает согласование между системами и беспрепятственную передачу рецептов.
---