Système de thermorégulation Semistat S 4400

Описание
Semistat S 4400 — это термоэлектрический блок регулирования температуры Point-of-Use, предназначенный для процессных применений, требующих быстрой и точной стабилизации температуры. Компактные габариты и возможность установки под полом в месте использования сокращают занимаемую площадь в чистом помещении. Управление температурой с точностью ±0,1 K повышает однородность от пластины к пластине и обеспечивает существенную экономию энергии по сравнению с компрессорными системами.

Рабочие характеристики

• Термоэлектрический процессный термостат с низким энергопотреблением
• Бесшумная работа и низкий уровень вибраций благодаря технологии охлаждения без хладагента
• Фильтры и DI-компоненты не требуются
• Подключение для продувки чистым сухим воздухом (CDA) для предотвращения конденсации
• Использование перфторированных теплоносителей
• Водяное охлаждение
• Компактные габариты и небольшой вес
• Очень малый объём теплоносителя
• Соответствует требованиям SEMI S2 и F47

Рабочий диапазон

• Минимальная рабочая температура: -20 °C
• Максимальная рабочая температура: 90 °C
• Стабильность температуры: ±0,1 K

Мощность охлаждения (примеры)
Температура — Мощность охлаждения 50 Гц — Мощность охлаждения 60 Гц
20 °C — 4,4 kW — 4,4 kW
10 °C — 3,5 kW — 3,5 kW
0 °C — 2,6 kW — 2,6 kW
-10 °C — 1,65 kW — 1,65 kW
-20 °C — 0,7 kW — 0,7 kW

Технические характеристики (по DIN 12876)

• Диапазон рабочих температур: -20 ... 90 °C
• Стабильность температуры: ±0,1 K
• Минимальная мощность нагрева: 12 kW
• Минимальный объём заполнения: 2,5 L
• Максимальный объём заполнения: 2,8 L
• Габариты (Ш × Г × В): 194 x 300 x 560 mm
• Вес: 38 kg
• Питание: Connection to PSC